陶瓷棒：
因各個客戶機臺運用上的不同，因而會延伸出多種不同外觀巨細的陶瓷棒。這個部分皆可根據各戶的需求進行出產。

陶瓷螺絲
半導體以及光電業機臺設備因會需運用酸堿性較高的腐蝕性化學藥劑，機臺內運用之螺絲也需要考慮到是否能夠抗酸堿腐蝕，故許多機臺內的螺絲都選用陶瓷螺絲。

聚焦環
首要用在半導體以及光電業蝕刻機臺設備，所以機臺亦長時間與化學藥劑觸摸，故此零件大部分廠商會運用陶瓷或是石英，石英部分較陶瓷不耐磕碰，石英磕碰后容易形成表免剝落狀態，上時機形成問題。故現在所知選用陶瓷的廠商現已越來越多。

注入器
在半導體機臺設備中扮演著化學氣體輸出入的人物，由于他長時間都需觸摸化學氣體，故他必須要有耐酸堿耐腐蝕的功用，避免由于他的腐蝕形成機臺設備的損害。工程陶瓷零件的耐腐蝕抗酸堿剛好合適運用。

上下保護環
陶瓷自身無磁性之功用正好符合半導體機臺內保護環防止雜訊干擾運用，因機臺所需的尺度巨細不同，尺度部分也會因而不同。這個部分皆可根據各戶的需求進行出產。

機械手臂
因半導體機臺設備內常運用化學藥劑，機臺設備所出產之產品又必須要能夠轉送下一站別，故有了機械手臂這項產品。為了避免機臺內的化學藥劑對機械手臂發生化學反應，許多廠商現已開始改用陶瓷所出產的機械手臂。

鐘罩
會用在反應器體系內，且電漿或是化學氣體有時會在此停留，故在鐘罩的原料運用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕，因而現在有許多半導體設備上所運用之鐘罩選用陶瓷原料，鐘罩之外表也能夠配合另外掩蓋其他金屬原料?；虮舅窘饘夔娬挚勺鎏沾杀砻嫣幚?。

壓緊環
用于光電業前段制程機臺設備中，長時間會觸摸化學藥劑，陶瓷原料可避免長時間觸摸化學藥劑發生腐蝕的現象。